半導體材料專家梁駿吾院士逝世
【光明追思】
半導體材料專家、中國工程院院士、中國科學院半導體所研究員梁駿吾,因病醫(yī)治無效,于2022年6月23日在北京逝世,享年89歲。
梁駿吾,1933年9月18日出生,湖北武漢人。1955年畢業(yè)于武漢大學,1956年至1960年在蘇聯(lián)科學院莫斯科巴依可夫冶金研究所攻讀副博士學位,1960年獲技術科學副博士學位。 1997年當選為中國工程院院士。曾任中國電子學會半電子材料學分會主任、名譽主任。
梁駿吾是我國從事硅材料研究的元老級專家,在20世紀60年代解決了高純區(qū)熔硅的關鍵技術。1964年制備出室溫激光器用GaAs 液相外延材料。1979年研制成功為大規(guī)模集成電路用的無位錯、無旋渦、低微缺陷、低碳、可控氧量的優(yōu)質硅區(qū)熔單晶。80年代首創(chuàng)了摻氮中子嬗變硅單晶,解決了硅片的完整性和均勻性的問題。90年代初研究MOCVD生長超晶格量子阱材料,在晶體完整性、電學性能和超晶格結構控制方面,將中國超晶格量子阱材料推進到實用水平。
梁駿吾一生與半導體材料科研事業(yè)相伴,他曾在采訪中說,希望通過自己的科研經歷,帶給年輕科研人員一些啟發(fā),讓他們看到這份事業(yè)可以有所作為,讓他們覺得自己同樣能夠作出成績。(光明日報全媒體記者李苑)
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